近日，中科院上海光機所周常河課題組利用高密度等離子體刻蝕設備、半導體光刻工藝技術和激光全息技術，發展出石英玻璃深刻蝕技術，成功地在石英玻璃基底上加工出優化深度的亞波長光柵，實驗證明其具有很高的偏振隔離度和衍射效率，是非常優良偏振分光器件。該器件具有使用壽命長，不易霉變，穩定、可靠，熱穩定性好等顯著優點。本項工作已經申請發明專利，并在國際刊物《光學通信》(Optics Letters 32, 1299)上發表。

偏振分光器是光學中的基礎器件，廣泛應用于光學實驗和光學儀器。所謂的偏振分光，就是把不同偏振的光在空間上分成不同的方向。通常的實現方法有雙折射晶體、偏振多層膜和高分子膜三種，但雙折射晶體價格昂貴，偏振多層膜工藝復雜、成本高，而高分子膜有吸收損耗大等不足之處。采用石英玻璃研制出偏振分光器，是有別于這些途徑的新方法。石英玻璃是各向同性材料，對于不同的偏振光表現出一樣的性能，這個技術的奇妙之處在于能將普通的各向同性的石英材料變為具有優良偏振分光性能的器件，同時石英玻璃材料具有很寬的透光光譜，熱膨脹系數小、成本低廉，因此，深刻蝕亞波長石英光柵器件有很好的應用前景。