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電子科技集團新型化學機械拋光設(shè)備填補國內(nèi)空白
電子科技集團新型化學機械拋光設(shè)備填補國內(nèi)空白
http://m.twesms.com
2015年09月19日
中國電子科技集團公司第48所近日成功研制出國內(nèi)首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的、適用于0.25μm器件特征尺寸、6英寸~8英寸晶圓片平坦
化工
藝要求的化學機械拋光
設(shè)備
。
該項目的研制成功,填補了我國IC
設(shè)備
制造業(yè)0.25μm/6英寸~8英寸晶圓片平坦化
設(shè)備
的空白,對于實現(xiàn)我國微電子產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展,形成我國自主的知識產(chǎn)權(quán),提升我國集成電路的整體研發(fā)水平和產(chǎn)業(yè)核心競爭力及打破國外微電子尖端技術(shù)壟斷有著十分重大的現(xiàn)實意義。
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